ES660 静电放电和闩锁测试系统

1. 描述

ES660 系列静电放电和闩锁 (LU) 测试系统是一款多针自动测试设备，旨在满足现代半导体测试的严格要求。这款多功能设备旨在无缝支持人体模型 (HBM)、机器模型 (MM) 和闩锁测试，为评估集成电路 (IC) 和电子元件的可靠性和稳健性提供全面的解决方案。ES660为ES612A系列的升级版，有更高的配置选择。

ES660-P1 配置支持多达1280个引脚，非常适合测试具有大量连接的复杂 IC 和电子元件。其高引脚数容量可确保准确高效地评估大型设备，从而缩短测试时间并提高生产率。

若需求更高的引脚数，ES660-P1配置可以升级为ES660-P2 (最多2560引脚)。

2. 特征

兼容多种测试方法和标准
高度灵活的偏置和引脚数配置能力
自动化测试效率
拥有先进的控制和监控
泄漏和直流扫描
数据分析
多放电头，软件自动切换

3. 应用

半导体器件 ESD 测试
HBM 模块符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模块符合ANSI/ESDA SP5.2
闩锁测试符合JEDEC JESD78
瞬态闩锁符合 ANSI/ESD SP5.4.1

4. 规格

ES660基础单元

参数	ES660	单位	备注
触摸屏	5	inch
尺寸	480 X 497.5 X 265	mm
重量	28	kg	完整安装
ESD 和 LU 波形	可选无源电压和电流探头
支持的示波器	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号		可定制
支持的 SMU	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号		可定制
支持的电源	Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号		可定制

HBM 人体模型选项

（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）

参数	ES660-P1-HBM8	ES660-P1-HBM10	单位	备注
输出电压	±10～8000	±10～10000	V
放电RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路负载峰值电流Ips	0.67 ± 10 % 每 kV		A
短路负载上升时间trs	2 < trs < 10		ns
短路负载衰减时间tds	130 < tds < 170		ns
短路振铃trs	< Ips 的15%
500Ω负载峰值电流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间trr	5 < trr < 25		ns
最快脉冲速度	10		个/秒
同时脉冲数目	>=8			512引脚以上

MM机型选项

（ANSI/ESD SP5.2）

参数	ES660-P1-MM2	ES660-P1-MM4	单位	备注
输出电压	±10 ~ 2000	±10 ~ 4000	V
放电RC值	C: 200 pF, R: 0 Ω
短路负载峰值电流Ip1	1.75±10% 每 100V
短路负载Ip2	Ip1的67% ~ 90%
短路负载脉冲周期tpm	66 < tpm < 90
500Ω负载峰值电流Ipr	0.85 – 1.2			@400 V条件符合标准
500Ω负载I100	0.23 – 0.4			@400 V条件符合标准
最快脉冲速度	10		个/秒
同时脉冲数目	>=8			512引脚以上

DC & 闩锁选项

（JEDEC JESD78F.01）

参数	ES660-P1-LU	备注
预处理向量	可≥ 20 MHz，256K 深度	外部设置
V/I 4线开尔文测量	是
DUT V/I 总线电源	3+1、5+1、7+1	支持DC源外部扩展
LU 波形捕获	是
矩阵最大DC电压	200V
SSR 矩阵最大DC电压 (V)	100V
引脚最大DC电流	2A
DC通道最大电流	15A
默认闩锁源最大电压	>= 150V	最大限流1.2 A
默认闩锁源最大电流	>= 10A	最高电压6 V

TLU 瞬态闩锁选项

（ANSI/ESD SP5.4.1）

计划闩锁瞬态脉冲源的硬件支持：

ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM

5. 订购信息

编号	型号	描述
基本单元选项
1.1	ES660-P1-BU	基于继电器的 HBM/MM/LU ATE 系统基础单元
1.2	ES660-P1-HBM8	HBM模型测试选项，电压至8 kV
1.3	ES660-P1-HBM10	HBM模型测试选项，电压至10 kV (停产)
1.4	ES660-P1-MM2	MM模型测试选项，电压至 2 kV
1.5	ES660-P1-MM4	MM模型测试选项，电压至4 kV (停产)
1.6	ES660-P1-LU	闩锁测试选项（软件）
1.7	ES660-P1-TLU	瞬态闩锁测试选项（软件 – TLP, EOS）
1.8	ES660-TFM	温度控制模块
继电器卡及DC偏置选型
2.1	ES660-P1-R64B4	扩展继电器卡，64引脚，3+1 偏置
2.2	ES660-P1-R64B6	扩展继电器卡，64引脚，5+1偏置
2.3	ES660-P1-R64B8	扩展继电器卡，64引脚，7+1偏置
直流、漏电和闩锁脉冲源选项
3.1	ES660-PSMU2	漏电\DC\LU 源：双通道脉冲 SMU (210V/1.5A)
3.2	ES660-SMU1	漏电\直流源：单通道 SMU (200V/1A)
3.3	ES660-PSU1	直流电源：灵活通道 PSU（ 32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch 或 70V/3A X 1 Ch，或 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch）
3.4	ES660-PSU2	直流电源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch+5V/3A X 1 Ch，或125V/3A X 1 Ch）
3.5	ES660-PSU3	直流电源：高电流 PSU (20V/20A X 1 Ch )
3.6	ES660-PSU4	直流电源：高电流PSU (30V/25A X 1 Ch)
3.7	ES660-PSU5	直流电源： 3通道 PSU (30V/6A X 2 Ch，5V/3A X 1 Ch，或 60V/6A X 1 Ch)
3.8	ES660-PSU7	直流电源：双量程 PSU (100V/1A, 或 30V/5A)
3.9	ES660-PSU-MC1	多通道PSU: 主框架, 带示波器
3.10	ES660-PSUC1	多通道PSU: 50V, 5A, 50W模块
3.11	ES660-PSUC2	多通道PSU: 50V, 10A, 100W模块
3.12	ES660-PSUC3	多通道PSU: 60V, 5A, 300W模块
3.13	ES660-PSUC4	多通道PSU: 100V, 1A, 100W模块
3.14	ES660-PSUC5	多通道PSU: 100V, 3A, 300W模块
3.15	ES660-PSUC6	多通道PSU: 150V, 2A, 300W模块
测试插座选项
4.1	ES660-P1-DS512	DUT 插座 PCB 512 针
4.2	ES660-P1-DS1024	DUT 插座 PCB 1024 针
4.3	ES660-P1-DSC1	DUT 插座 PCB 定制引脚数
示波器选项
5.1	MISC-OSC350	数字示波器（ 350 MHz， 4 通道）
5.2	MISC-OSC1	Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch)
5.3	CT-T03-1p0	宽带电流探头，1V/A，2kHz – 2GHz